特許
J-GLOBAL ID:200903054226416720

磁気抵抗効果型磁気ヘッド

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 小池 晃 (外2名)
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平5-058676
公開番号(公開出願番号):特開平6-274837
出願日: 1993年03月18日
公開日(公表日): 1994年09月30日
要約:
【要約】【構成】 基板上に少なくとも磁気抵抗効果素子と先端,後端電極を有する感磁部が形成され、磁気記録媒体対向面を研磨することによってデプスが規定される磁気抵抗効果型磁気ヘッドに、デプス測定用センサーを設け、該デプスセンサーのデプス検出の際の基準となる基準ラインを磁気抵抗効果素子のデプス零位置を決めるエッチング工程にてエッチングにより決定する。また、基板に対して負の電位となるようなバイアス電圧をデプス測定用センサーに印加した状態で磁気記録媒体対向面の研磨を行う。【効果】 精度良く磁気記録媒体対向面の研磨を行うことができ、再生特性が良好で、特性のバラツキのない磁気抵抗効果型磁気ヘッドを得ることができる。
請求項(抜粋):
基板上に少なくとも磁気抵抗効果素子、先端電極及び後端電極よりなる感磁部が形成され、磁気記録媒体対向面を研磨することによりデプスが規定されてなる磁気抵抗効果型磁気ヘッドにおいて、前記研磨の際にデプスを検出するためのデプス測定用センサーが、前記磁気抵抗効果素子のデプス零位置を決めるエッチング工程で同時にエッチングされ、デプス検出の際の基準となる基準ラインが決定されていることを特徴とする磁気抵抗効果型磁気ヘッド。
IPC (2件):
G11B 5/39 ,  G11B 5/31

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