水質評価方法および装置

発明者： , ,
出願人/特許権者： ,
代理人 (1件)：本多小平 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-342514
公開番号（公開出願番号）：特開平6-194290
出願日： 1992年12月22日
公開日（公表日）： 1994年07月15日
要約：

【要約】【目的】通常の純水ばかりでなく超純水中に含まれる蒸発残留物をその重量で測定することで、その水質を測定もしくはモニタリングすること。特に、LSI用の超純水の水質評価法としては、LSI洗浄ではウエハ上に残る残留物が問題であることから、本発明は非常に有効である。【構成】水晶振動子101、電極102,103、発振器104、振動数測定器105と演算器106より構成される。本装置の動作は、まず電極103表面に何も付着していない状態での水晶振動子101の固定振動数を振動数測定器105により測定する。その後、水晶振動子101の上部電極103上にサンプル管107を用いてサンプル水108(可能ならば既知量が良い)を滴下する。さらに、滴下後のサンプル水108が乾燥した後に、再度、水晶振動子101の固有振動数を振動数測定器105により測定し、前後の振動数の変化量から演算器106によって重量を算出し、サンプル水の量から最終的には水中の不純物濃度を算出することができる。

請求項（抜粋）：

固有振動数を持つ水晶振動子と電極で構成される水晶重みセンサーの電極表面にサンプル水を滴下し、滴下・乾燥前後の水晶重みセンサーの振動数変化から、サンプル水中に含まれる不純物もしくは全蒸発残留物の量を測定することを特徴とする水質評価方法。

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