特許

J-GLOBAL ID：200903054234472702

フッ素含有化合物ガスの検出方法

発明者： 植田 哲生 ,  松岡 伸彦 ,  市丸 広志 ,  中野 久治 ,  田井中 正弘
出願人/特許権者： セントラル硝子株式会社
代理人 (1件)： 西 義之
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-008107
公開番号（公開出願番号）：特開2000-283973
出願日： 2000年01月17日
公開日（公表日）： 2000年10月13日
要約：

【要約】【課題】 微量のフッ素含有化合物ガスを検出する。【解決手段】 フッ素含有化合物ガスの検出として、フッ素含有化合物ガスを微量含むガスを加熱した固体金属と接触反応させ、生成したガスを検出する。

請求項（抜粋）：

フッ素含有化合物ガスの検出方法として、フッ素含有化合物ガスを微量含むガスを加熱した固体金属と接触反応させ、生成したガスを検出することを特徴とするフッ素含有化合物ガスの検出方法。

IPC (2件)：

G01N 31/00 ,  G01N 31/12

FI (2件)：

G01N 31/00 Q ,  G01N 31/12

Fターム (9件)：

2G042AA01 ,  2G042BA10 ,  2G042BB18 ,  2G042CA01 ,  2G042CB01 ,  2G042DA05 ,  2G042FA19 ,  2G042FB04 ,  2G042GA01