特許

J-GLOBAL ID：200903054237036369

光スイッチ

発明者： 羽田 聖治
出願人/特許権者： 横河電機株式会社
代理人 (1件)： 小沢 信助
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-146178
公開番号（公開出願番号）：特開平8-015621
出願日： 1994年06月28日
公開日（公表日）： 1996年01月19日
要約：

【要約】【目的】光路切替え機構部を小型軽量化すると共に静電気力を利用して機構部を駆動することにより、低消費電力化と光路切替え速度の高速化を図ると共に実用上十分な強度を有する光スイッチを実現する。【構成】シリコン基板に凹部が形成され、この凹部の表面に反射鏡および上部電極を有するシリコン製片持ち梁の偏向素子が設けると共に凹部の底面に下部電極が形成され、上部電極および下部電極間に電荷を加えて梁にたわみを生じさせ反射鏡を傾斜させることにより、反射鏡からの出射光の光路を切り替え得るように構成する。

請求項（抜粋）：

シリコン基板に凹部が形成され、前記凹部の表面に反射鏡および上部電極を有するシリコン製片持ち梁の偏向素子が設けられると共に前記凹部の底面に下部電極が形成され、前記上部電極および下部電極間に電荷を加えて前記梁にたわみを生じさせ前記反射鏡を傾斜させることにより、反射鏡からの出射光の光路を切り替え得るように構成したことを特徴とする光スイッチ。