特許

J-GLOBAL ID：200903054239406112

自己整合コンタクトおよび側壁リフレクタを有する上面発光リッジ型VCSELを作製する方法

発明者： チャン-ローン・シェー ,  マイケル・エス・レビー
出願人/特許権者： モトローラ・インコーポレイテッド
代理人 (1件)： 本城 雅則 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-147025
公開番号（公開出願番号）：特開平8-162713
出願日： 1994年06月07日
公開日（公表日）： 1996年06月21日
要約：

【要約】【目的】 第1ミラー・スタック12と、第2ミラー・スタック14と、それらの間にはさまれた活性領域13とを有するリッジ型VCSELを作製する方法。【構成】 本方法は、第2スタック14上に金属層20,エッチング可能層25およびマスキング層30を被着する段階と、マスキング層30,エッチング可能層25および金属層20の部分を除去してマスクを形成する段階と、このマスクを利用して第2スタック14をエッチングして、メサを形成する段階と、エッチング可能層25の部分を除去して、金属層20を露出する段階と、メサの側面31および金属層20の露出部分に追加金属層40を被着して、発光領域45を定める段階と、エッチング可能層25およびマスキング層30を除去して、発光領域45に金属層20を露出する段階と、金属層20の露出部分を除去して、発光領域45を露出する段階を含む。

請求項（抜粋）：

上面発光リッジ型VCSELを作製する方法であって:第1ミラー・スタック(12)と、上面を有する第2ミラー・スタックと、それらの間にはさまれた活性領域(13)とを形成する段階;前記第2ミラー・スタックの前記上面に第1金属コンタクト層(20)を形成し、前記第1金属コンタクト層にエッチング可能な材料の層(25)を形成し、前記エッチング可能な材料の層にマスキング材料の層(30)を形成して、リッジ型VCSELを定めるエッチング・マスクを形成する段階;前記エッチング・マスクを用いて前記第2ミラー・スタック(14)をエッチングして、側面(31)を有するリッジまたはメサを形成する段階;前記エッチング可能な材料の層(25)の部分を除去して、前記第1金属コンタクト層(20)の第1部分を露出する段階;前記リッジまたはメサの前記側面と、前記第1金属コンタクト層の前記露出された第1部分とに第2金属コンタクト層(40)を被着して、発光領域(45)を定める段階;前記エッチング可能な材料の層(25)および前記マスキング材料の層(30)を除去して、前記発光領域(45)に前記第1金属コンタクト層(20)の第2部分を露出する段階;および前記第1金属コンタクト層(20)の前記露出された第2部分を除去して、前記発光領域(45)を露出する段階;によって構成されることを特徴とする方法。

IPC (2件)：

H01S 3/18 ,  H01L 21/3065