特許

J-GLOBAL ID：200903054243227931

水晶板の分類装置

発明者： 小林 勇二
出願人/特許権者： 理学電機株式会社
代理人 (1件)： 横川 邦明
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-258944
公開番号（公開出願番号）：特開平6-082396
出願日： 1992年09月02日
公開日（公表日）： 1994年03月22日
要約：

【要約】【目的】 いかなる形状、大きさの水晶板も吸着保持して、カット面検査することを可能にする。【構成】 カットされた多数の水晶板Sを一枚づつ搬送する水晶板搬送装置と、搬送される水晶板Sをホルダ12に吸着保持してX線回折することで結晶格子面aに対するカット面傾斜角度のズレに対応した偏差角dを測定するカット面検査装置10と、検査した水晶板Sを偏差角dに応じ分類して回収する水晶板回収装置とを備え、さらに、カット面検査装置10のホルダ12は上部に真空吸引通路13と連通する単一で断面円形状の吸着筒15を突設して、この吸着筒15で種々の形状、大きさの水晶板Sを吸着保持するように構成する。

請求項（抜粋）：

カットされた多数の水晶板を一枚づつ搬送する水晶板搬送装置と、搬送される水晶板をホルダに吸着保持してX線回折することで結晶格子面に対するカット面傾斜角度のズレに対応した偏差角を測定するカット面検査装置と、検査した水晶板を偏差角に応じ分類して回収する水晶板回収装置とを備える水晶分類装置において、上記カット面検査装置は水晶板保持用のホルダを有しており、そのホルダは、その上端に水晶板が置かれる筒形状の単一の吸着筒と、その吸着筒の内部空間に連通する真空吸引通路とを有することを特徴とする水晶板の分類装置。