特許

J-GLOBAL ID：200903054246207516

電子放出素子、電子源、画像形成装置、及びこれらの製造方法

発明者： 饗場 利明 ,  荒井 由高
出願人/特許権者： キヤノン株式会社
代理人 (1件)： 渡辺 敬介 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-045671
公開番号（公開出願番号）：特開2000-243261
出願日： 1999年02月24日
公開日（公表日）： 2000年09月08日
要約：

【要約】【課題】 処理装置の大型化や高コスト化を避け、且つ製造に要する時間を短くできる電子放出素子の製造方法を提供する。【解決手段】 基板1上に素子電極2,3及び導電性膜4を形成し、素子電極2,3間に電圧を印加して電子放出部5を形成した後、アセチレンガスを含む大気圧程度の雰囲気において電子放出部5及びその近傍に、炭素を含有する堆積物を堆積させる活性化工程を行う。

請求項（抜粋）：

基板上に一対の素子電極と、該素子電極のそれぞれに電気的に接続された導電性膜と、該導電性膜の一部に形成された電子放出部を有する電子放出素子の製造方法であって、基板上に素子電極及び導電性膜を形成する工程と、該導電性膜に電子放出部を形成するフォーミング工程と、5×104〜2×105Paの圧力を有する、アセチレンガスを含む雰囲気中で、上記一対の素子電極間にパルス電圧を繰り返し印加することにより、少なくとも上記電子放出部に、炭素を含有する堆積物を堆積させる活性化工程と、を少なくとも有することを特徴とする電子放出素子の製造方法。

IPC (3件)：

H01J 9/02 ,  H01J 1/316 ,  H01J 31/12

FI (3件)：

H01J 9/02 E ,  H01J 1/30 E ,  H01J 31/12 C

Fターム (9件)：

5C036EE01 ,  5C036EE02 ,  5C036EE14 ,  5C036EF01 ,  5C036EF06 ,  5C036EF09 ,  5C036EG12 ,  5C036EH11 ,  5C036EH26