特許
J-GLOBAL ID：200903054249191700
静電アクチュエータ
発明者：
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-349986
公開番号（公開出願番号）：特開平11-165413
出願日： 1997年12月04日
公開日（公表日）： 1999年06月22日
要約：
【要約】【課題】 寸法のバラツキが少なく、均一な変位特性を有する静電型アクチュエータを得る。【解決手段】 振動板12と、該振動板12に対向して設けられた個別電極14とを有し、前記振動板15に取り付けられた共通電極11と前記個別電極間14に駆動電圧を印加し、前記振動板を静電力により変形させる。振動板15はSi単結晶からなり、前記対向電極14が乗る基板15は単結晶Siの200〜400°Cの温度範囲の線膨張係数に近い線膨張係数を有するガラス材質からなる。前記振動板12は前記Si単結晶を前記ガラス基板15に陽極接合し、前記Si単結晶の全面をエッチングや研磨により所定の板厚にされて形成され、該振動板12と前記対向電極14との対向間隔として、該振動板12の前記個別電極14に対向した側に凹部13が形成されている。
請求項（抜粋）：
振動板と、該振動板に対向して設けられた個別電極とを有し、前記振動板に取り付けられた共通電極と前記個別電極間に駆動電圧を印加し、前記振動板を静電力により変形させる静電型アクチュエータにおいて、該振動板がSi単結晶からなり、前記対向電極が乗る基板が単結晶Siの200〜400°Cの温度範囲の線膨張係数に近い線膨張係数を有するガラス材質からなり、前記振動板は前記Si単結晶を前記ガラス基板に陽極接合し、前記Si単結晶の全面をエッチングや研磨により所定の板厚を有し、前記振動板と前記対向電極との対向間隔として前記個別電極に対向した側に凹部が形成されていることを特徴とした静電アクチュエータ。
IPC (3件)：
B41J 2/045
, B41J 2/055
, B41J 2/16
B41J 3/04 103 A
, B41J 3/04 103 H
