特許

J-GLOBAL ID：200903054259988150

近接場光プローブおよびそれを用いた近接場光学顕微鏡および光記録再生装置

発明者： 古川 貴司 ,  寺尾 元康
出願人/特許権者： 株式会社日立製作所
代理人 (1件)： 作田 康夫
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-174989
公開番号（公開出願番号）：特開2002-365198
出願日： 2001年06月11日
公開日（公表日）： 2002年12月18日
要約：

【要約】【課題】三角形の金属薄膜パターンについて、その頂点の間隔をnmオーダーの精度で作製することが不必要、および近接場光プローブから発生する近接場光の強度およびプローブ径を温度変化等にかかわらず一定に保つことのできる近接場光プローブを提供すること。【解決手段】先鋭化した金属薄膜パターン203、204を形成した基板201、202に、それぞれの金属薄膜パターン203、204の相対位置を可変にできる微小移動機構208、209を取り付けることで解決できる。

請求項（抜粋）：

厚さが光の波長以下である平面楕円体の形状をした金属の散乱体を、微小移動機構を有する基板上に形成したことを特徴とする近接場光プローブ。

IPC (5件)：

G01N 13/14 ,  G01N 13/10 ,  G11B 7/09 ,  G11B 7/135 ,  G12B 21/06

FI (6件)：

G01N 13/14 B ,  G01N 13/14 A ,  G01N 13/10 G ,  G11B 7/09 D ,  G11B 7/135 A ,  G12B 1/00 601 C

Fターム (15件)：

5D118AA13 ,  5D118AA20 ,  5D118BA01 ,  5D118BF02 ,  5D118BF03 ,  5D118CD15 ,  5D119AA12 ,  5D119BA01 ,  5D119BB03 ,  5D119DA01 ,  5D119DA05 ,  5D119EB02 ,  5D119HA12 ,  5D119HA16 ,  5D119HA17