研磨フィルム

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：倉内基弘 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-036281
公開番号（公開出願番号）：特開平7-223166
出願日： 1994年02月10日
公開日（公表日）： 1995年08月22日
要約：

【要約】【目的】機械的な研磨作用と化学研磨作用を複合し、研磨能力と仕上げ面精度の向上を兼ね備えた効率の良い研磨フィルムの提供を目的とする。【構成】研磨材とフッ素化合物の混合物がバインダー樹脂中に分散され、フィルム基体上に塗布され研磨層を形成した。

請求項（抜粋）：

研磨材とフッ素化合物の混合物がバインダー樹脂中に分散され、フィルム基体上に塗布され研磨層を形成していることを特徴とする研磨フィルム。

IPC (6件)：

B24D 3/02 310 , B24D 11/00 , B32B 27/18 , C08J 7/06 CFD , C09K 3/14 550 , C09K 3/14

引用特許：

審査官引用 (3件)

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