特許

J-GLOBAL ID：200903054265277460

ウエハー表面保護テープ剥し装置

発明者： 芦田 隆博
出願人/特許権者： 株式会社タカトリハイテツク ,  株式会社タカトリ
代理人 (1件)： 和田 昭
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-304272
公開番号（公開出願番号）：特開平5-116837
出願日： 1991年10月22日
公開日（公表日）： 1993年05月14日
要約：

【要約】【目的】 この発明は、ウエハーを全面吸着させることができ、これにより、ウエハーの変形等による損傷を防止すると共に、保護テープの剥離を容易にできる吸着テーブルを備えたウエハー表面保護テープ剥し装置を提供することにある。【構成】 表面10aに保護テープ13が仮接着されたウエハー10を載置する吸着テーブル16を、気孔率32〜55%、気孔径50〜100μmの多孔質セラミックス18により構成したウエハー表面保護テープ剥し装置であり、上記多孔質セラミックス18は、ウエハー中央部に対応する中央領域M1の気孔径が100μm、ウエハー周辺部に対応する周辺領域M2の気孔径が50μmに選ばれている。

請求項（抜粋）：

表面に保護テープが仮接着されたウエハーを吸着テーブルに載置し、該吸着テーブルに連結したエアコンプレッサのエア吸引力により上記ウエハーの裏面を吸着テーブルに吸着保持すると共に、供給部から順次供給される剥しテープを該保護テープに接着させて、保護テープをウエハー表面から剥しテープ側に転移するように構成されたウエハー表面保護テープ剥し装置において、上記吸着テーブルが、気孔率32〜55%,気孔径50〜100μmの多孔質セラミックスにより構成されていることを特徴とするウエハー表面保護テープ剥し装置。