特許

J-GLOBAL ID：200903054272099918

ミラー駆動装置

発明者： 滝沢 輝之 ,  島田 敏幸 ,  後藤 芳和
出願人/特許権者： 松下電器産業株式会社
代理人 (1件)： 小鍜治 明 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-083576
公開番号（公開出願番号）：特開平5-290397
出願日： 1992年04月06日
公開日（公表日）： 1993年11月05日
要約：

【要約】【目的】 可動ミラーの移動量を高感度し、可動ミラーの不感帯領域(ヒステリシス特性)の減少および0次共振値の抑圧を実現する。【構成】 可動ミラーと、可動ミラー支持部材と、可動ミラー駆動部と、可動ミラーもしくは支持部材にとりつけられた可動電極と、固定電極と、可動電極と固定電極間の静電容量を検出する検出部と検出部で得られる検出信号により可動ミラーを駆動制御する制御部とより構成される。可動ミラー部の移動量を電極間容量の変化として高感度に検出して、可動ミラーと可動ミラー支持部材からなる機械振動系に電気的制御を加える。また、可動ミラートラッキング制御信号にトラッキング制御帯域外の高周波微弱重畳信号を重畳することにより可動ミラーを常時微動させ、可動ミラーとその支持部材より構成される機械振動系の不感帯領域を本来のトラッキング制御に支障をきたすことなく常に均一に保持する。

請求項（抜粋）：

可動ミラーと、前記可動ミラーを回動支持する支持部材と、前記可動ミラーを回動させる駆動部と、前記可動ミラーもしくは前記支持部材に取り付けられた可動電極と、前記可動電極に対し微小な空隙を保ち略平行に近接配置された固定電極と、前記支持部材および前記固定電極を固定する固定部と、前記可動電極と前記固定電極間の静電容量を検出する検出部と、前記検出部で得られる検出信号により前記可動ミラーを駆動制御する制御部とを備えたことを特徴とするミラー駆動装置。

引用特許：

審査官引用 (3件)

• 特開昭64-002015
  
• 特開平4-252433
  
• 特開昭57-027445