特許
J-GLOBAL ID:200903054280825989

オイルフリースクロール形真空ポンプ

発明者:
出願人/特許権者:
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2006-188662
公開番号(公開出願番号):特開2006-283769
出願日: 2006年07月07日
公開日(公表日): 2006年10月19日
要約:
【課題】 従来のガスバラスト機構には、流量調節機構が設けられていなかったため、ガスバラスト使用時にポンプ吸気口からの吸入気体湿度が低くてもガスバラスト導入孔より必要以上の気体を流入させるため、電力を無駄に消費していた。【解決手段】 旋回スクロールの鏡板から立設する第1の渦巻状スクロールラップと、固定スクロールの鏡板から立設する第2の渦巻状スクロールラップと、前記第1及び第2の渦巻状スクロールラップの先端に設けたチップシール溝と、該チップシール溝に配されるチップシールとを有し、更に前記旋回スクロールを前記固定スクロールに対して公転運動させることで、前記旋回スクロールと前記固定スクロール間の気体を外周側から内周側に順次圧縮させるオイルフリースクロール形真空ポンプにおいて、ガスバラスト機構に流量調整機構を設ける。【選択図】 図4
請求項(抜粋):
旋回スクロールの鏡板から立設する第1の渦巻状スクロールラップと、固定スクロールの鏡板から立設する第2の渦巻状スクロールラップと、前記第1及び第2の渦巻状スクロールラップの先端に設けたチップシール溝と、該チップシール溝に配されるチップシールとを有し、更に前記旋回スクロールを前記固定スクロールに対して公転運動させることで、前記旋回スクロールと前記固定スクロール間の気体を外周側から内周側に順次圧縮させるオイルフリースクロール形真空ポンプにおいて、ガスバラスト機構に流量調整機構を設けることを特徴としたオイルフリースクロール形真空ポンプ。
IPC (5件):
F04C 28/24 ,  F04C 18/02 ,  F04C 25/02 ,  F04C 27/00 ,  F04C 29/12
FI (5件):
F04C28/24 ,  F04C18/02 311X ,  F04C25/02 N ,  F04C27/00 321 ,  F04C29/12 F
Fターム (19件):
3H029AA02 ,  3H029AA18 ,  3H029AA24 ,  3H029AB06 ,  3H029BB16 ,  3H029BB43 ,  3H029BB52 ,  3H029CC14 ,  3H029CC19 ,  3H029CC52 ,  3H029CC83 ,  3H039AA02 ,  3H039AA09 ,  3H039AA12 ,  3H039BB28 ,  3H039CC05 ,  3H039CC30 ,  3H039CC31 ,  3H039CC40
引用特許:
出願人引用 (1件)

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