特許
J-GLOBAL ID:200903054281220398
多波長光源装置及び光学測定装置
発明者:
,
出願人/特許権者:
代理人 (3件):
小谷 悦司
, 植木 久一
, 伊藤 孝夫
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2003-082697
公開番号(公開出願番号):特開2004-294072
出願日: 2003年03月25日
公開日(公表日): 2004年10月21日
要約:
【課題】本発明は、より測定誤差の発生を抑制することができる多波長光源装置及び光学測定装置に関する。【解決手段】本発明は、各々所望の波長の光を含む光を発光する複数の光源11と、複数の光源11から出射される光を所望の波長に応じた特定の方向に回折させると共に集光する光学系13、14と、光学系13、14からの光を選択的に透過させる出射スリット16とを備え、複数の光源11は、各光源11における所望の波長の光が光学系13、14によって回折する方向が出射スリット16の方向となるように各々配置されている、光学測定装置1用の多波長光源装置10であって、出射スリット16から出射された光の光路を分岐するビームスプリッタ19をさらに備え、ビームスプリッタ19によって分岐された両光束についての開口角は、一方の光束についての開口角が他方に対してより制限される。【選択図】 図1
請求項(抜粋):
それぞれ所望の波長の光を含む光を発光する複数の光源部と、前記複数の光源部から出射される光を前記所望の波長に応じた特定の方向に回折させると共に集光する光学系と、前記光学系からの光を選択的に透過させる出射スリットとを備え、前記複数の光源部は、各光源部における前記所望の波長の光が前記光学系によって回折する方向が前記出射スリットの方向となるようにそれぞれ配置されている、光学測定装置に用いられる多波長光源装置であって、
前記出射スリットから出射された光の光路を分岐する分岐部をさらに備え、該分岐部によって分岐された両光束についての開口角は、一方の光束についての開口角が他方に対してより制限されること
を特徴とする多波長光源装置。
IPC (4件):
G01N21/01
, G01J3/10
, G01J3/18
, G01N21/27
FI (4件):
G01N21/01 D
, G01J3/10
, G01J3/18
, G01N21/27 Z
Fターム (43件):
2G020BA14
, 2G020CA02
, 2G020CB03
, 2G020CB23
, 2G020CB26
, 2G020CB36
, 2G020CB43
, 2G020CB53
, 2G020CB54
, 2G020CC02
, 2G020CC43
, 2G020CC47
, 2G020CD12
, 2G020CD13
, 2G020CD34
, 2G020CD37
, 2G020CD38
, 2G020CD52
, 2G020CD53
, 2G020CD54
, 2G059AA01
, 2G059BB12
, 2G059BB13
, 2G059CC16
, 2G059EE01
, 2G059EE02
, 2G059EE11
, 2G059GG01
, 2G059GG02
, 2G059GG03
, 2G059GG10
, 2G059HH02
, 2G059HH06
, 2G059JJ05
, 2G059JJ11
, 2G059JJ13
, 2G059JJ17
, 2G059JJ22
, 2G059KK03
, 2G059MM01
, 2G059MM09
, 2G059MM10
, 2G059PP04
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