特許

J-GLOBAL ID：200903054284906061

固体撮像素子及びその製造方法

発明者： 大塚 洋一
出願人/特許権者： ソニー株式会社
代理人 (1件)： 角田 芳末 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-104248
公開番号（公開出願番号）：特開2003-298034
出願日： 2002年04月05日
公開日（公表日）： 2003年10月17日
要約：

【要約】【課題】 感度を向上することができると共に、安価にかつ安定して製造することができる構造の固体撮像素子及びその製造方法を提供する。【解決手段】 各画素において受光センサ部2よりも上方に形成された透明膜9の受光センサ部2の直上の位置に孔部13が形成され、透明膜9よりも屈折率の高い有機ポリマー10が孔部に埋め込まれて導波管が構成されている固体撮像素子を構成する。また、色素を添加した有機ポリマー10によりカラーフィルタを構成する。そして、透明膜9の受光センサ部2の直上の部分に孔部13を形成する工程と、この孔部13を埋めて有機ポリマー10を形成する工程と、この有機ポリマー10に対してエッチバックを行って表面を平坦化する工程とを少なくとも有して上記固体撮像素子を製造する。

請求項（抜粋）：

画素を構成する受光センサ部が多数形成され、各画素において受光センサ部よりも上方に透明膜が形成されて成り、上記透明膜の上記受光センサ部の直上の位置に孔部が形成され、上記透明膜よりも屈折率の高い有機ポリマーが、上記孔部に埋め込まれて、導波管が構成されていることを特徴とする固体撮像素子。

IPC (3件)：

H01L 27/14 ,  G02B 5/20 101 ,  H04N 5/335

FI (3件)：

G02B 5/20 101 ,  H04N 5/335 V ,  H01L 27/14 D

Fターム (18件)：

2H048BA45 ,  2H048BA47 ,  2H048BA48 ,  2H048BB02 ,  2H048BB08 ,  2H048BB28 ,  2H048BB37 ,  2H048BB47 ,  4M118AB01 ,  4M118BA13 ,  4M118CA02 ,  4M118CA32 ,  4M118FA06 ,  4M118GA09 ,  4M118GB03 ,  4M118GC07 ,  4M118GD04 ,  5C024CX37