蒸着装置

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (4件)：板垣孝夫 , 森本義弘 , 笹原敏司 , 原田洋平
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-289459
公開番号（公開出願番号）：特開2006-104497
出願日： 2004年10月01日
公開日（公表日）： 2006年04月20日
要約：

【課題】蒸着により形成される薄膜の品質を向上し、装置の稼働率を向上し得る蒸着装置を提供することを目的とする。【解決手段】ガラス基板1が配置されて蒸着が行われる蒸着用容器3内に、蒸発材料を放出する放出孔11dが形成され、放出孔11dからガラス基板1に向かう蒸発材料の飛翔経路Xを遮断または開放するシャッター12と、シャッター12に付着した蒸着材料である蒸着物16を掻き落とすスクレーパー17を備え、シャッター巻取り部材14の巻取り回数が所定回数に到達するごとに、蒸着物16がスクレーパー17により掻き落とされるため、一連の成膜工程において蒸着物16が落下することを防止することができ、したがって蒸着により形成される薄膜の品質を向上させることができる。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

蒸発された蒸着材料である蒸発材料を被蒸着部材に付着させて蒸着を行う蒸着装置であって、前記被蒸着部材が配置されて蒸着が行われる蒸着用容器内に、前記蒸発材料を放出する放出孔が形成され、前記放出孔から前記被蒸着部材に向かう前記蒸発材料の飛翔経路を遮断または開放する遮蔽手段と、前記遮蔽手段に付着した蒸着材料である蒸着物を掻き落とす除去手段を備えたことを特徴とする蒸着装置。

IPC (4件)：

C23C 14/24 , C23C 14/56 , H05B 33/10 , H01L 51/50

FI (4件)：

C23C14/24 G , C23C14/56 J , H05B33/10 , H05B33/14 A

Fターム (10件)：

3K007AB18 , 3K007DB03 , 3K007FA00 , 3K007FA01 , 4K029AA09 , 4K029BA62 , 4K029CA01 , 4K029DA12 , 4K029DB06 , 4K029HA01

引用特許：

出願人引用 (1件)

実公平6-9014号公報

審査官引用 (8件)

特開昭61-143577
特開昭61-201771
特開平4-080355

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