特許

J-GLOBAL ID：200903054298529260

光学的欠陥検査装置

発明者： 藤井 聖己 ,  矢鍋 晋一 ,  藤本 雅俊 ,  高橋 英二 ,  後藤 有一郎 ,  山口 証 ,  西元 善郎 ,  中山 万希志
出願人/特許権者： ジェネシス・テクノロジー株式会社
代理人 (1件)： 本庄 武男
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-238047
公開番号（公開出願番号）：特開平9-079995
出願日： 1995年09月18日
公開日（公表日）： 1997年03月28日
要約：

【要約】【課題】 検査領域を正確に設定すること,及び検査処理時間の短縮。【解決手段】 基準部を撮像し,この画像から基準部の位置座標を求め,この基準部の位置座標を基準部と検査領域との既知の位置関係に基づいて検査領域を決定する。決定された検査領域について欠陥検査を行う。

請求項（抜粋）：

被検査物の検査対象部を撮像した画像上に指定した検査領域について被検査物の欠陥を検査する装置において,上記検査領域を決定する基準となる上記被検査物の基準部を撮像する基準部撮像手段と,上記基準部撮像手段による撮像画像から基準部の位置座標を検出する基準部画像処理手段と,上記基準部の位置座標に基づいて上記検査対象部を撮像した画像上に検査領域を設定する検査領域設定手段とを具備し,上記検査領域について欠陥検査を行ってなることを特徴とする光学的検査装置。

IPC (3件)：

G01N 21/88 ,  H01L 21/60 311 ,  H01L 21/60 321

FI (3件)：

G01N 21/88 Z ,  H01L 21/60 311 R ,  H01L 21/60 321 Y

引用特許：

出願人引用 (3件)

• 特開昭53-069538
  
• 画像認識装置用画像データ処理装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平3-337173   出願人：株式会社キーエンス
• ビューファインダー用カラーフイルターの検査装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平5-319252   出願人：大日本印刷株式会社

審査官引用 (4件)

• ビューファインダー用カラーフイルターの検査装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平5-319252   出願人：大日本印刷株式会社
• 特開昭53-069538
  
• 特開昭53-069538
  
• 画像認識装置用画像データ処理装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平3-337173   出願人：株式会社キーエンス