特許
J-GLOBAL ID：200903054299081727
クリーンルームの清浄度測定装置およびクリーンルームの清浄度測定方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
高橋 詔男 (外3名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-185207
公開番号（公開出願番号）：特開2000-019095
出願日： 1998年06月30日
公開日（公表日）： 2000年01月21日
要約：
【要約】【課題】クリーンルーム内の高清浄度を維持しつつ、異常発生時には即座に調査、対策を可能にする、クリーンルーム内ウェーハ搬送エリアを含む全域のパーティクル環境測定システムを提供する。【解決手段】ウェーハを収納したSMIFボックス内にパーティクル測定器を設置し、天井レール上を、SMIFボックスと共に搬送する。無線送信機付きパーティクル測定器は、本システムの装置群を起動するバッテリ、空気を導入する吸引チューブ,ゴミの量、ゴミの粒径を測定するゴミカウンタおよび該ゴミカウンタに接続するポンプを有する。さらに測定系で得られたデータを処理するデータ処理装置および処理されたデータを中央監視盤へ情報転送する無線送信機が具備されている。該ゴミカウンタにはパーティクル数、粒径を測定するレーザ光源、光学レンズ系、受光素子としてのフォトンカウンタが設置されている。
請求項（抜粋）：
クリーンルーム内の空気を吸引し、その吸引した空気に含まれるパーティクルの量を測定して、前記クリーンルームの清浄度を測定する装置において、レーザを照射し、その散乱光を測定するゴミカウンタと、上記測定データを入力して演算処理し、送信装置へ出力するデータ処理装置と、アンテナを具備する送信装置と、上記ゴミカウンタ、上記データ処理装置、上記送信装置の電源となるバッテリとを具備するすることを特徴とするクリーンルームの清浄度測定装置。
FI (2件)：
G01N 15/06 D
, G01N 15/06 C
