多価フェノール化合物、その製法および用途

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：久保山隆 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-297128
公開番号（公開出願番号）：特開平9-136851
出願日： 1995年11月15日
公開日（公表日）： 1997年05月27日
要約：

【要約】【課題】新規な多価フェノール化合物を提供する。【解決手段】式(I)の化合物が提供される。この化合物は、p-ヒドロキシベンズアルデヒドとメチルハイドロキノンを反応させることにより、製造できる。この化合物は、ポジ型レジストのアルカリ可溶性成分として用いることができる。【効果】この化合物は、簡単な反応で純度よく製造できる。またこの化合物を含むポジ型レジスト組成物は、レジスト諸性能のバランスがとれたものとなり、半導体の微細加工に適している。

請求項（抜粋）：