ダイボンダ

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：江原省吾 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-271126
公開番号（公開出願番号）：特開平9-115931
出願日： 1995年10月19日
公開日（公表日）： 1997年05月02日
要約：

【要約】【課題】チップへのダメージを可及的に少なくし、設置スペースの縮小化及びチップ移送の高速化を容易に実現することにある。【解決手段】 XY移動可能なトレイ12に形成された多数の凹部13に収容したチップ14をコレット17により表面吸着してピックアップし、前記チップ14の姿勢を修正した上でチップ14を所定の搭載位置にマウントするダイボンダにおいて、コレット17によるチップ14のピックアップポジションPからマウントポジションQまでの移送途中の停止ポジションRで、コレット17に吸着された状態のままでチップ裏面を光学系18により撮像して画像認識する画像認識手段19と、その画像認識データに基づいてコレット17を調整機構20によりXYθ方向に微調整することによりチップ14を姿勢修正する制御手段21とを具備する。

請求項（抜粋）：

XY移動可能なトレイに形成された多数の凹部に収容したチップをコレットにより表面吸着してピックアップし、前記チップの姿勢を修正した上でチップを所定の搭載位置にマウントするダイボンダにおいて、コレットによるチップのピックアップポジションからマウントポジションまでの移送途中の停止ポジションで、コレットに吸着された状態のままでチップ裏面を光学系により撮像して画像認識する画像認識手段と、その画像認識データに基づいてコレットを調整機構によりXYθ方向に微調整することによりチップを姿勢修正する制御手段とを具備したことを特徴とするダイボンダ。

IPC (2件)：

H01L 21/52 , H01L 21/68

FI (3件)：

H01L 21/52 F , H01L 21/68 F , H01L 21/68 B

引用特許：

審査官引用 (6件)

特開平2-094530
特開平4-348534
特開平4-299542

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