特許
J-GLOBAL ID：200903054306549020
ピエゾ抵抗ブリッジ型センサの温度補償方式
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
三好 秀和 (外8名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-001651
公開番号（公開出願番号）：特開平9-189717
出願日： 1996年01月09日
公開日（公表日）： 1997年07月22日
要約：
【要約】【課題】 本発明は、S/N比を良好に維持して精度のよい温度補償を行い、またピエゾ抵抗ブリッジの温度特性バラツキを補償することを目的とする。【解決手段】 ピエゾ抵抗ブリッジ2と同一基板上に形成した温度検出手段10の検出値を記録する基準温度記録手段40を有し、任意の温度環境下での温度検出手段10の検出値を基準温度データとして基準温度記録手段40に記録し、ピエゾ抵抗ブリッジ型センサ1の稼動時に温度検出手段10の検出値から前記基準温度データを減じて基準温度データからの温度変化量を導出し、該温度変化量に所定の変換係数を乗じて導出した温度補正値をピエゾ抵抗ブリッジ型センサ1の出力信号に加算することを特徴とする。
請求項（抜粋）：
半導体基板を部分的にエッチング加工して、固定部と、該固定部に梁部で支持された重り部とを形成し、前記梁部上に形成したピエゾ抵抗ブリッジの出力変化を検知することにより前記重り部に与えられた物理量を検出するピエゾ抵抗ブリッジ型センサの温度補償方式であって、前記半導体基板上に形成した温度検出手段と、該温度検出手段の検出出力を記録する基準温度記録手段とを有し、任意の時刻、任意の温度環境下における前記温度検出手段の検出出力値を基準温度データとして前記基準温度記録手段に記録し、前記ピエゾ抵抗ブリッジ型センサの稼動時に前記温度検出手段の検出出力値から前記基準温度記録手段に記録された基準温度データを減じて該基準温度データからの温度変化量を導出し、該温度変化量に所定の変換係数を乗じて温度補正値を導出し、前記ピエゾ抵抗ブリッジ型センサの出力信号に前記温度補正値を加算することを特徴とするピエゾ抵抗ブリッジ型センサの温度補償方式。
IPC (4件)：
G01P 21/00
, G01D 3/028
, G01P 15/12
, H01L 41/08
G01P 21/00
, G01P 15/12
, G01D 3/04 D
, H01L 41/08 Z
