自己整合高エネルギー融蝕により製造される電界放出ディスプレイ用スペーサー

発明者： , , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：田澤博昭 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-108742
公開番号（公開出願番号）：特開平6-060804
出願日： 1993年04月13日
公開日（公表日）： 1994年03月04日
要約：

【要約】【目的】本発明は平面パネルディスプレイに使用されるスペーサー支持体の製造プロセスを提供することを目的とする。【構成】本発明においては、スペーサー材料18′を電極プレート21上に堆積し、場合によっては、スペーサー材料18′の上に反射材料19をパターニングし、電極プレート21に照射し、それにより露出したスペーサー材料18′を除去し、場合によっては、反射材料19を除去し、それによりスペーサー支持体18として役に立つ残りのスペーサー材料18′が露出し、その後プレート21は補足的な電極プレート16およびこれらの間に形成される真空により整合することができる。

請求項（抜粋）：

次の工程、第1材料(18′)を第1電極プレート(21)の上に配置される保護層(10)の上に堆積し、そして前記第1材料(18′)を放射エネルギーに選択的に露光して支持体構造(18)を定めること、を含む電極間支持体構造(18)の形成プロセス。

引用特許：

審査官引用 (12件)

特開平4-065047
特開平4-019942
特表平3-501547

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