特許
J-GLOBAL ID:200903054307845235
自己整合高エネルギー融蝕により製造される電界放出ディスプレイ用スペーサー
発明者:
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出願人/特許権者:
代理人 (1件):
田澤 博昭 (外1名)
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平5-108742
公開番号(公開出願番号):特開平6-060804
出願日: 1993年04月13日
公開日(公表日): 1994年03月04日
要約:
【要約】【目的】 本発明は平面パネルディスプレイに使用されるスペーサー支持体の製造プロセスを提供することを目的とする。【構成】 本発明においては、スペーサー材料18′を電極プレート21上に堆積し、場合によっては、スペーサー材料18′の上に反射材料19をパターニングし、電極プレート21に照射し、それにより露出したスペーサー材料18′を除去し、場合によっては、反射材料19を除去し、それによりスペーサー支持体18として役に立つ残りのスペーサー材料18′が露出し、その後プレート21は補足的な電極プレート16およびこれらの間に形成される真空により整合することができる。
請求項(抜粋):
次の工程、第1材料(18′)を第1電極プレート(21)の上に配置される保護層(10)の上に堆積し、そして前記第1材料(18′)を放射エネルギーに選択的に露光して支持体構造(18)を定めること、を含む電極間支持体構造(18)の形成プロセス。
引用特許:
審査官引用 (12件)
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特開平4-065047
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特開平4-019942
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特表平3-501547
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特開平3-147226
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特開平3-147226
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特開平2-058216
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特開平2-121350
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特開昭54-092527
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特開平2-297932
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特開平2-121350
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特開平3-135568
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特開平3-062432
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