特許

J-GLOBAL ID：200903054310594774

感度安定化ポジ作用性フォトレジスト組成物

発明者： スティーブン ニューマン ,  ロバート ジョン ホウリ
出願人/特許権者： ミネソタ マイニング アンド マニュファクチャリング カンパニー
代理人 (1件)： 青木 朗 (外4名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-112062
公開番号（公開出願番号）：特開平5-181263
出願日： 1992年03月19日
公開日（公表日）： 1993年07月23日
要約：

【要約】【構成】 1または2以上の層の中に、(i)樹脂結合剤、(ii)光酸発生剤、および(iii)酸切断性化合物、を含んでなるポジ作用性フォトレジストであって、フォトレジスト媒体はさらに、感度安定剤として、一般式(I):【化1】(式中、Rは水素原子および10個までの炭素原子を有する置換されていてもよいアルキル基から成る群より選択される)の核を有する1種または2種以上の化合物を含んでなることを特徴とする、ポジ作用性フォトレジスト。

請求項（抜粋）：

1または2以上の層の中に、(i)樹脂結合剤、(ii)光酸発生剤、および(iii)酸切断性化合物、を含んでなるポジ作用性フォトレジストであって、フォトレジスト媒体は、さらに、感度安定剤として、一般式(I):【化1】(式中、Rは水素原子および10個までの炭素原子を有する置換されていてもよいアルキル基から成る群より選択される)の核を有する1種または2種以上の化合物を含んでなることを特徴とする、ポジ作用性フォトレジスト。

IPC (6件)：

G03F 7/004 502 ,  G03F 7/004 503 ,  G03F 7/00 501 ,  G03F 7/029 ,  G03F 7/039 ,  H01L 21/027