特許
J-GLOBAL ID：200903054311316921
単結晶棒育成装置の消耗品管理方法及び装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
松本 眞吉
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-206417
公開番号（公開出願番号）：特開平5-024967
出願日： 1991年07月23日
公開日（公表日）： 1993年02月02日
要約：
【要約】【目的】本発明は、単結晶育成装置に用いられる消耗品を適正に管理することを目的とする。【構成】坩堝内原料を加熱するヒータの通電時間を積算し、消耗品の抵抗値を測定し、又は、ヒータ自体もしくはその近くの温度を時間積分し、この通電積算時間、抵抗値又は温度時間積分値に基づいて、加熱により劣化するヒータ、ヒートシールド及びワイヤなどの消耗品を交換する。
請求項（抜粋）：
坩堝内原料を加熱するヒータ(12)の通電時間を積算し、この通電積算時間に基づいて、加熱により劣化する消耗品(12、14、18)の交換を行うことを特徴とする単結晶棒育成装置の消耗品管理方法。
引用特許：
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