特許
J-GLOBAL ID：200903054315388153
ダイシング装置
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
筒井 秀隆
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-321174
公開番号（公開出願番号）：特開平6-151585
出願日： 1992年11月04日
公開日（公表日）： 1994年05月31日
要約：
【要約】【目的】ダイシングテーブルの単価が安く、埃や削りくず等によって目詰まりを起こし難く、多数回安定して使用できるダイシング装置を提供すること。【構成】ダイシングテーブルの上面には真空吸引装置と接続された吸引孔または吸引溝を設け、この上面に硬質板よりなるパレットを吸着保持するとともに、パレット上に両面粘着シートを介してウエーハを貼り付ける。粘着シートのウエーハ側の粘着剤層は加熱または紫外線照射により粘着力が低下する第1粘着剤層であり、粘着シートのパレット側の粘着剤層は加熱または紫外線照射により粘着力が低下しない、またはウエーハ側の粘着剤層に比べて加熱または紫外線照射による粘着力の低下が少ない第2粘着剤層である。
請求項（抜粋）：
ダイシングテーブル上にウエーハを保持し、回転するブレードによってウエーハを切断してチップ毎に分離するためのダイシング装置において、ダイシングテーブルの上面には真空吸引装置と接続された吸引開口部を設け、この上面に硬質板よりなるパレットを吸着保持するとともに、パレット上に両面粘着シートを介してウエーハを貼り付けてなり、上記粘着シートのウエーハ側の粘着剤層は加熱または紫外線照射により粘着力が低下する第1粘着剤層であり、粘着シートのパレット側の粘着剤層は加熱または紫外線照射により粘着力が低下しない、またはウエーハ側の粘着剤層に比べて加熱または紫外線照射による粘着力の低下が少ない第2粘着剤層であることを特徴とするダイシング装置。
IPC (5件)：
H01L 21/78
, B28D 1/24
, B28D 5/00
, B28D 7/04
, H01L 21/68
