特許
J-GLOBAL ID：200903054316599247
光偏向器およびこの光偏向器を用いた走査型光学顕微鏡
発明者：
,
,
,
出願人/特許権者：
代理人 (4件)：
鈴江 武彦
, 河野 哲
, 村松 貞男
, 風間 鉄也
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-200454
公開番号（公開出願番号）：特開2005-043459
出願日： 2003年07月23日
公開日（公表日）： 2005年02月17日
要約：
【課題】共振で駆動する高速スキャンと、高速スキャンよりも低速領域で且つ任意の周波数を選べる低速スキャンを一つの光偏向器で実現し、各種の有用な顕微鏡動作を実現できる光偏向器およびこの光偏向器を用いた走査型光学顕微鏡を提供する。【解決手段】固定部材11に第1の支持部材13a、13bを介して第1の可動部材12を支持するとともに、この第1の可動部材12に第1の支持部材13a、13bと同一の中心軸19上の第2の支持部材18a、18bを介して反射ミラー17を有する第2の可動部材16を支持する構成で、第1の可動部材12と第2の可動部材16が同位相に揺動する第1の駆動状態と、第1の可動部材12と第2の可動部材16が逆位相に揺動する第2の駆動状態を有する。【選択図】 図1
請求項（抜粋）：
一対の第1の支持部材を介して揺動可能に支持された第1の可動部材と、
前記第1の可動部材と同一の中心軸上に配置される一対の第2の支持部材を介して前記第1の可動部材に揺動可能に支持された、反射面を有する第2の可動部材と、
前記第1および第2の支持部材を介して前記第1および第2の可動部材を揺動させる駆動手段と、を具備し、
前記第1の可動部材と前記第2の可動部材が同位相に揺動する第1の駆動状態と、
前記第1の可動部材と前記第2の可動部材が逆位相に揺動する第2の駆動状態を有することを特徴とする光偏向器。
IPC (2件)：
FI (3件)：
G02B26/10 104Z
, G02B26/10 C
, G02B21/06
2H045AB06
, 2H045AB13
, 2H045AB38
, 2H045BA12
, 2H052AA07
, 2H052AC15
, 2H052AC27
, 2H052AC34
