特許
J-GLOBAL ID：200903054318131323
分光素子取付機構
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
杉本 修司 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-012314
公開番号（公開出願番号）：特開2003-215071
出願日： 2002年01月22日
公開日（公表日）： 2003年07月30日
要約：
【要約】【課題】 分光素子交換機を備えた走査型蛍光X線分析装置の分光素子取付機構において、分光素子のθ方向の取付角度を、十分に高い精度で調整できるものを提供する。【解決手段】 分光素子交換機7のホルダ5に形成したねじ孔23に対して、調整ねじ24を両端部24a,24cで螺合させ、鼓状にくびれた中間部24bで球体26に当接させる。球体26は、分光素子4を貼り付けた貼り付け板21に当接して、第1支軸C1を中心としてθ方向に回動させる。
請求項（抜粋）：
角柱状のホルダーの側面に配置した複数の平板の分光素子を、前記ホルダーの中心軸をなす交換軸を回転させることにより、試料から発生する蛍光X線の光路に選択的に進出させて入射した蛍光X線を分光させる分光素子交換機と、前記分光素子で分光された蛍光X線の強度を測定する検出器と、前記分光素子で分光される蛍光X線の波長を変えながら、その分光された蛍光X線が前記検出器に入射するように、前記交換軸と平行で前記分光素子交換機が取り付けられたθ軸およびそのθ軸と軸心が共通で前記検出器が取り付けられた2θ軸を回転させる連動手段とを備えた走査型蛍光X線分析装置に用いられる分光素子取付機構であって、前記分光素子ごとに、一方の面に前記分光素子が貼り付けられ、前記交換軸と平行な第1支軸を中心に回動自在な貼り付け板と、一方の端部が前記ホルダーに係止され、そのホルダーの方に、他方の端部が係止された前記貼り付け板の部分を付勢する第1弾性体と、前記ホルダーにおいて前記交換軸と平行に形成されたねじ孔に、両端部が螺合し、中間部が鼓状にくびれた調整ねじと、前記ホルダーの1側面に直交して前記ねじ孔まで貫通するガイド孔に摺動自在に挿入され、前記第1弾性体の付勢により、前記貼り付け板の他方の面および前記調整ねじの中間部に当接する球体とを備え、前記ねじ孔に対する前記調整ねじのねじ込み量が調整されて、前記調整ねじの中間部において前記球体に当接する位置が変化することにより、前記球体を前記ガイド孔に沿って移動させて、前記貼り付け板を前記第1支軸を中心に回動させる分光素子取付機構。
Fターム (6件)：
2G001AA01
, 2G001BA04
, 2G001CA01
, 2G001EA02
, 2G001EA08
, 2G001JA05
