特許

J-GLOBAL ID：200903054319908194

ウエット処理方法及び処理装置

発明者： 三森 健一 ,  大見 忠弘
出願人/特許権者： 株式会社フロンテック ,  大見 忠弘
代理人 (1件)： 福森 久夫
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-176502
公開番号（公開出願番号）：特開平9-024350
出願日： 1995年07月12日
公開日（公表日）： 1997年01月28日
要約：

【要約】【課題】 被処理物を洗浄する際に、必要最小限の薬品使用量でかつ必要最小限の工程で、しかも従来より高い洗浄度でウエット処理することが可能なウエット処理方法及び処理装置を提供すること。特にCe除去能に優れている。【手段】 被処理物を、所定の電気分解装置に純水または超純水を導入し電解して得たアノード水またはカソード水を用いてウエット処理する方法であって、ウエット処理を、該アノード水またはカソード水に所定の電解質を添加した後に30KHz以上の超音波を照射しながら行うことを特徴とする。

請求項（抜粋）：

被処理物を、所定の電気分解装置に純水または超純水を導入し電解して得たアノード水またはカソード水を用いてウエット処理する方法であって、ウエット処理を、該アノード水またはカソード水に所定の電解質を添加した後に30kHz以上の超音波を照射しながら行うことを特徴とするウエット処理方法。

IPC (4件)：

B08B 3/12 ,  H01L 21/304 341 ,  H01L 21/304 ,  H01L 21/306

FI (4件)：

B08B 3/12 Z ,  H01L 21/304 341 M ,  H01L 21/304 341 L ,  H01L 21/306 J

引用特許：

審査官引用 (4件)

• 洗浄装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平4-244971   出願人：株式会社東芝
• 噴射形超音波洗浄装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平4-098550   出願人：株式会社国際電気エルテック, 株式会社渡邊商行
• 特開平4-256473
  
• 特開昭60-051582