部品試験装置

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (3件)：小谷悦司 , 植木久一 , 樋口次郎
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-081061
公開番号（公開出願番号）：特開2004-004000
出願日： 2003年03月24日
公開日（公表日）： 2004年01月08日
要約：

【課題】ICチップ等の電子部品の試験装置について、ノズル部材と部品との接触時の衝撃によって部品が損傷することを防止しつつ、より確実に部品の試験を行うことができるようにする。【解決手段】ノズル部材60aには、部品を吸着するノズル部610と、このノズル部610に接続されるノズルシャフト部620と、ノズル部510およびノズルシャフト部620を保持する保持部630とが備えられ、ノズル部610が保持部630に対して軸方向に一定範囲だけ移動可能とされるとともに、上記ノズル部610を弾性的に最大突出位置に保持するように突出方向に付勢する第1ばね651と、ノズル部610が最大突出位置から所定量以上反突出方向に移動したときにこのノズル部に突出方向の付勢力を加える第2ばね653とが設けられている。【選択図】図10

請求項（抜粋）：

電子部品と電気的に接触して当該部品が正常であるか否かの試験を行うテストヘッドと、当該部品を吸着する吸着ノズル部材を有する移動可能な部品保持手段とを備え、当該部品保持手段により部品供給側から部品を吸着してテストヘッドまで搬送するとともに、テストヘッド上に押し付けて試験を行うようにした部品試験装置において、当該吸着ノズル部材は、部品を吸着して保持するノズル部と、上記ノズル部に接続されるノズルシャフト部と、上記ノズル部およびノズルシャフト部を保持する保持部とを備え、上記ノズル部が上記保持部に対して軸方向に一定範囲だけ移動可能とされるとともに、上記ノズル部を弾性的に最大突出位置に保持するように突出方向に付勢する第1弾性部材と、上記ノズル部が最大突出位置から反突出方向に所定量以上移動したときにこのノズル部に突出方向の付勢力を加える第2弾性部材とが設けられていることを特徴とする部品試験装置。

IPC (1件)：

G01R31/26

FI (2件)：

G01R31/26 Z , G01R31/26 J

Fターム (7件)：

2G003AA07 , 2G003AD09 , 2G003AG11 , 2G003AG14 , 2G003AG16 , 2G003AH00 , 2G003AH07

引用特許：

審査官引用 (2件)

部品装着装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平4-027959 出願人：三洋電機株式会社
電子部品試験装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平10-351357 出願人：株式会社アドバンテスト

前のページに戻る