特許
J-GLOBAL ID：200903054331832004
検査装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
浅井 章弘 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-354052
公開番号（公開出願番号）：特開平6-181245
出願日： 1992年12月15日
公開日（公表日）： 1994年06月28日
要約：
【要約】【目的】 グランド線(結線部)の検査を自動で行うことができる検査装置を提供する。【構成】 被測定体Wを保持する載置台54と、これに中継部57を介して接続されるグランド線(結線部)56との接続状態を検査するに際して、検査電源60から所定の周波数の検査電圧を印加することにより、浮遊容量成分に起因する電流を流し、これを変換トランス62により検出する。この検出値を断線検出手段64により判断し、グランド線の断線の存否を自動的に求める。
請求項（抜粋）：
フローテングされた載置台に被測定体を配置し、この被測定体の電極にテスタと導通したプローブ針を接触させ、上記テスタからの入出力信号により上記被測定体の電気的特性を測定する装置において、上記載置台と電気的に導通している中継部を上記載置台より離れて設け、上記中継部を介して上記載置台に所定周波数の電圧を印加し、この印加出力波形と基準波形とを比較し、この比較情報に基づいて上記載置台と上記中継部を結ぶ結線部の通電状態を検出する断線検出手段を設けたことを特徴とする検査装置。
IPC (3件)：
H01L 21/66
, G01R 31/02
, G01R 31/28
