特許

J-GLOBAL ID：200903054336594276

ウェハ搬送における位置補正方法

発明者： 吉田 純 ,  桐畑 直史
出願人/特許権者： アシストジャパン株式会社
代理人 (1件)： 飯田 昭夫 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-301659
公開番号（公開出願番号）：特開2003-110004
出願日： 2001年09月28日
公開日（公表日）： 2003年04月11日
要約：

【要約】 (修正有)【課題】XYテーブルを装着しないアライナーにおいて、高精度のロボットを使用することなく、ウェハの位置合わせを行なうことのできるウェハ搬送における位置補正装置を提供すること。【解決手段】アライナー1とロボット10とが所定の位置に設置されると、計測用ウェハをアライナー1で角度合わせを行ない、そして、その位置を基準位置として、ハンド14の伸長方向、又はハンド14の旋回方向、あるいは、ロボット10のY軸方向への、移動距離の異なる複数回の移動により、ハンド14の移動軌跡をそれぞれ計測する。加工用ウェハWを搬送する際に、計測結果に基づいてそれぞれの補正量を含めた移動量をロボット10に指令してハンド14を正規な位置に移動させる。

請求項（抜粋）：

ウェハ搬送の際、ロボットのハンド移動における機械的誤差を補正するためのウェハ搬送における位置補正方法であって、前記ウェハを回転する保持手段と前記ウェハのエッジを検出する検出手段とを備えたアライナーと、ウェハを把持して搬送するハンドを備えたロボットとが、所定の位置に設置された時点で、計測用ウェハを前記アライナーにセットして計測用ウェハの角度合わせを行なった後、角度合わせされた前記計測用ウェハを、その位置を基準にして前記ハンドで把持して計測位置に移動させることによって、前記ハンドの移動軌跡を計測し、加工用ウェハの搬送時、計測結果に基づいて、前記ハンドを正規の位置に補正移動することを特徴とするウェハ搬送における位置補正方法。

IPC (2件)：

H01L 21/68 ,  B25J 9/10

FI (3件)：

H01L 21/68 F ,  H01L 21/68 A ,  B25J 9/10 A

Fターム (20件)：

3C007AS03 ,  3C007AS24 ,  3C007BS15 ,  3C007CV07 ,  3C007CW07 ,  3C007DS01 ,  3C007ES17 ,  3C007KS04 ,  3C007KS05 ,  3C007KV11 ,  3C007KX19 ,  3C007LT12 ,  3C007NS09 ,  3C007NS13 ,  5F031CA02 ,  5F031GA43 ,  5F031GA47 ,  5F031JA22 ,  5F031JA45 ,  5F031KA20