電極、電子放出素子及びそれを用いた装置

発明者： , ,
出願人/特許権者： ,
代理人 (1件)：福森久夫
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-157826
公開番号（公開出願番号）：特開2002-352694
出願日： 2001年05月25日
公開日（公表日）： 2002年12月06日
要約：

【要約】【課題】従来のスピント型冷陰極やカーボンナノチューブやカーボンナノファイバの電子放出特性の更なる改善を図り、低電圧で高輝度の電子放出が可能な高性能電子放出装置を作製し、フラットパネルディスプレー、撮像装置、電子ビーム装置、マイクロ波進行波管のキーデバイスとして提供する。【解決手段】スピント型冷陰極やカーボンナノチューブやカーボンナノファイバおよび凹凸を有する金属や半導体基板に厚さ50nm以下の電子親和力4.0eV以下の半導体膜を設けて電子放出装置を作製する。前記半導体薄膜として窒化アルミニウム、窒化ホウ素、窒化アルミニウムホウ素、窒化アルミニウムガリウム、窒化ホウ素ガリウムなどのIII族原子と窒素原子の化合物、窒化ホウ素炭素、ダイヤモンドのいずれを用いる。

請求項（抜粋）：

厚さ50nm以下の電子親和力4.0eV以下の膜を表面に有することを特徴とする電極。

IPC (5件)：

H01J 1/304 , H01J 1/30 , H01J 11/02 , H01J 29/04 , H01J 31/12

FI (5件)：

H01J 11/02 B , H01J 29/04 , H01J 31/12 C , H01J 1/30 F , H01J 1/30 D

Fターム (9件)：

5C031DD17 , 5C031DD20 , 5C036EE02 , 5C036EE19 , 5C036EG12 , 5C040FA01 , 5C040FA02 , 5C040GF00 , 5C040MA03

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