特許
J-GLOBAL ID：200903054348253920
感光性樹脂組成物、これを用いた感光性エレメント及びめっきレジストの製造法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
若林 邦彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-013904
公開番号（公開出願番号）：特開平5-204150
出願日： 1992年01月29日
公開日（公表日）： 1993年08月13日
要約：
【要約】【目的】 アルカリ現像性と耐無電解めっき性を両立した感光性樹脂組成物及び可撓性に優れたレジストを形成しうる感光性エレメントを提供すること。【構成】 下記の一般式(I)で示される単量体、芳香環を含むビニル単量体、カルボキシル基含有ビニル単量体及び他のビニル単量体を共重合して得た線状高分子化合物、グリシジルメタクリレート又はアクリレートを付加させた化合物、酸無水物変性エポキシアクリレート化合物、末端エチレン基を2個以上含む光重合性不飽和化合物及び増感剤を含有してなる感光性樹脂組成物及び該組成物の層と該層を支持する支持体フィルムからなる感光性エレメントである。なお、一般式(I)において、R1 は水素又はメチル基を表し、R2 は炭素原子数1〜8のアルキレン基を表す。【化1】
請求項（抜粋）：
(A)(a)一般式(I)【化1】〔式中、R1 は水素原子又はメチル基を表し、R2 は炭素原子数1〜8のアルキレン基を表す〕で示されるビニル単量体7〜45重量部、(b)一般式(II)【化2】〔式中、R3 は水素原子、ハロゲン原子又は低級アルキル基を表し、R4 は水素原子、炭素原子数1〜4のアルキル基、炭素原子数1〜4のアルコキシ基又はハロゲン原子を表し、xは1〜5の整数を表す〕で示されるビニル単量体30〜70重量部、(c)一般式(I)で示されるビニル単量体以外のカルボキシル基含有ビニル単量体7〜30重量部及び(d)上記(a)、(b)及び(c)成分以外のビニル単量体0〜40重量部を(a)、(b)、(c)及び(d)成分の総量が100重量部となる量で共重合して得られる線状高分子化合物に、オキシラン環及びエチレン性不飽和結合をそれぞれ1個有する化合物を、エポキシ基当量/カルボキシル基当量比が 0.2〜0.6の範囲になるように反応させて得られる不飽和線状高分子化合物、(B)オルソクレゾールノボラック型エポキシ樹脂、フェノールノボラック型エポキシ樹脂及びハロゲン化フェノールノボラック型エポキシ樹脂からなる群から選ばれる少なくとも1種のノボラック型エポキシ樹脂と不飽和カルボン酸とを、カルボキシル基当量/エポキシ基当量比が 0.5〜1.05の範囲になるように付加反応させて得られる不飽和化合物に飽和又は不飽和の多塩基酸無水物を反応させて得られる酸無水物変性エポキシアクリレート化合物、(C)末端にエチレン基を少なくとも2個含有する光重合性不飽和化合物並びに(D)活性光の照射により遊離ラジカルを生成する増感剤及び/又は増感剤系を含有してなる感光性樹脂組成物。
IPC (10件)：
G03F 7/027 502
, G03F 7/004 503
, G03F 7/004 512
, G03F 7/027 515
, G03F 7/028
, G03F 7/033
, G03F 7/038
, H01L 21/027
, H05K 3/06
, H05K 3/18
