特許
J-GLOBAL ID：200903054348570623
フッ素ドープ石英ガラスの製造方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
志賀 正武
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-108574
公開番号（公開出願番号）：特開平6-321552
出願日： 1993年05月10日
公開日（公表日）： 1994年11月22日
要約：
【要約】【目的】 ディポジション速度が安定し高い比屈折率差のフッ素ドープ石英ガラスを得ることができるフッ素ドープ石英ガラスの製造方法を提供する。【構成】 フッ素ドープ石英ガラスをプラズマ外付け法で出発部材10の周囲に形成するに際し、出発部材10の長さ方向に直交してプラズマトーチを対向させ、このプラズマトーチから放射されるプラズマ炎11と同軸上に石英ガラス原料ガスを供給すると同時に、これと異なる方向から、プラズマ炎11中にフッ素系ガスを供給する。フッ素系ガスが石英ガラス原料ガスとは別個にプラズマ炎11中に供給されるため、その供給量を自在に制御でき、フッ素系ガスによる生成ガラスのエッチングを阻止して安定したディポジション速度が得られる。
請求項（抜粋）：
フッ素ドープ石英ガラスをプラズマ外付け法で出発部材の周囲に形成するに際し、出発部材の長さ方向に直交してプラズマトーチを対向させ、このプラズマトーチから放射されるプラズマ炎と同軸上に石英ガラス原料ガスを供給すると同時に、これと異なる方向から、プラズマ炎中にフッ素系ガスを供給することを特徴とするフッ素ドープ石英ガラスの製造方法。
IPC (3件)：
C03B 8/04
, C03B 37/018
, G02B 6/00 356
