特許
J-GLOBAL ID：200903054353149987
導電性カンチレバーを用いた走査型原子間力顕微鏡
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
蛭川 昌信 (外7名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-045286
公開番号（公開出願番号）：特開平6-258069
出願日： 1993年03月05日
公開日（公表日）： 1994年09月16日
要約：
【要約】【目的】 電流の流れ易さによる見かけ上のカンチレバーと試料間の距離の変化を補正して正しくSTM像の観察もできるようにする。【構成】 導電性カンチレバーの変位を検出して原子間力顕微鏡像を、トンネル電流を検出して走査トンネル顕微鏡像を観察するようにした導電性カンチレバーを用いた走査型原子間力顕微鏡において、走査型トンネル顕微鏡像信号にカンチレバーの変位量分を加算して補正するようにしたことを特徴とする。
請求項（抜粋）：
試料に対向配置された導電性カンチレバーと、導電性カンチレバーの変位を検出する変位検出器と、導電性カンチレバーと試料間にバイアス電圧を印加するバイアス電源と、導電性カンチレバーと試料との相対的位置を変化させるためのスキャナとを備え、導電性カンチレバーの変位を検出して原子間力顕微鏡像を、トンネル電流を検出して走査トンネル顕微鏡像を観察するようにした導電性カンチレバーを用いた走査型原子間力顕微鏡において、走査型トンネル顕微鏡像信号にカンチレバーの変位量分を加算して補正するようにしたことを特徴とする導電性カンチレバーを用いた走査型原子間力顕微鏡。
IPC (3件)：
G01B 21/30
, G01B 7/34
, H01J 37/28
