特許
J-GLOBAL ID:200903054360475253
偏極電子線発生装置
発明者:
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出願人/特許権者:
代理人 (1件):
池田 治幸 (外2名)
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平6-175388
公開番号(公開出願番号):特開平7-230755
出願日: 1994年07月27日
公開日(公表日): 1995年08月29日
要約:
【要約】【目的】 反射層と光共振器の光学的厚みの制御が困難な状況下において、高い量子効率が得られる偏極電子線発生装置を提供する。【構成】 偏極電子線発生装置24の試料ホルダ34は、回動部材54に有底円筒状の試料保持部材56が螺着されて構成されている。試料保持部材56の底部の真空ハウジング26内に向かう一面には、座ぐり部58が設けられて偏極電子線発生素子10が収められており、その偏極電子線発生素子10は、その周縁部を押さえる押え板60と、その押え板60を保持すると共に試料保持部材56に螺着されるL字状断面のキャップ62とによって上記座ぐり部58内に固定されている。回動部材54は、モータ36により回転させられるウォーム66と噛み合うウォームホイール68を備えており、ウォーム66の回転によって、偏極電子線発生素子10の表面の中央部を中心として図の紙面に垂直な軸回りに回動させられる。
請求項(抜粋):
価電子帯にバンドスプリッティングを有する半導体光電層と、該半導体光電層の裏側に設けられ、該半導体光電層に照射された励起光を該半導体光電層の表面との間で共振させる光共振器を構成する反射層とが備えられた偏極電子線発生素子に、該励起光を照射することにより該半導体光電層の表面からスピン方向が偏在している偏極電子線を取り出す偏極電子線発生装置であって、前記励起光の前記偏極電子線発生素子への入射角度を変更する入射角度変更手段が備えられたことを特徴とする偏極電子線発生装置。
IPC (2件):
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