特許
J-GLOBAL ID：200903054363123188
ポジ型感光性組成物
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
萩野 平 (外3名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-276565
公開番号（公開出願番号）：特開平10-123703
出願日： 1996年10月18日
公開日（公表日）： 1998年05月15日
要約：
【要約】【課題】 光分解効率が大きく、従って感度が高く、高い解像力を有し、優れたレジストパターンが得られ、露光後加熱処理までの経時でレジストパターンの細りが生じることのないポジ型感光性組成物を提供すること。【解決手段】 (A)有機塩基性化合物、(B)活性光線または放射線の照射により、スルホン酸を発生する特定の化合物、及び酸分解性基を有する樹脂を含有し、且つ前記(B)の化合物と(A)の組成物中の含有モル比〔(B)/(A)〕が2.5〜30.0であるポジ型感光性組成物。
請求項（抜粋）：
(A)有機塩基性化合物、(B)活性光線または放射線の照射により、スルホン酸を発生する下記一般式(I)または(II)で表される化合物、及び(C)酸の作用により分解し、アルカリ現像液中での溶解性を増大させる基を有する樹脂を含有し、且つ前記(B)の化合物と(A)の有機塩基性化合物の組成物中の含有モル比〔(B)/(A)〕が、2.5〜30.0であることを特徴とするポジ型感光性組成物。【化1】式中、R1 〜R5 は水素原子、アルキル基、シクロアルキル基、アルコキシ基、ヒドロキシ基、ハロゲン原子、又は-S-R6 基を示す。R6 はアルキル基、又はアリール基を示す。X- は、分岐状又は環状の炭素数8個以上のアルキル基及びアルコキシ基の群の中から選ばれる基を少なくとも1個有するか、直鎖状、分岐状又は環状の炭素数4〜7個のアルキル基及びアルコキシ基の群の中から選ばれる基を少なくとも2個有するか、もしくは直鎖状又は分岐状の炭素数1〜3個のアルキル基及びアルコキシ基の群の中から選ばれる基を少なくとも3個有するベンゼンスルホン酸、ナフタレンスルホン酸又はアントラセンスルホン酸のアニオンを示す。
IPC (5件)：
G03F 7/004 503
, G03F 7/004 501
, G03F 7/00 503
, G03F 7/039 601
, H01L 21/027
G03F 7/004 503 A
, G03F 7/004 501
, G03F 7/00 503
, G03F 7/039 601
, H01L 21/30 502 R
