特許

J-GLOBAL ID：200903054363932736

弗素含有気体の精製方法

発明者： マルコ・スツチ ,  カロリーナ・ソルチア
出願人/特許権者： サエス・ゲテルス・ソチエタ・ペル・アチオニ
代理人 (1件)： 倉内 基弘 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-073017
公開番号（公開出願番号）：特開平5-092119
出願日： 1992年02月26日
公開日（公表日）： 1993年04月16日
要約：

【要約】【目的】 弗素含有気体(CF4,CHF3,CF4,CHF3,C2F6,CF2Cl2,SF6 )の、有害物質の放出とその後の精製されたガスの再汚染を生じる危険がなくしかも弗素含有気体の分解を生じることなく不純物気体を除去する方法の開発。【構成】 H2 O及びO2 等を含有する弗素含有気体を不純ガス導入口12及び精製ガス導出口18を備えそして45〜75重量%Zr、20〜50重量%V及び5〜35重量%Feの組成のZr-V-Fe合金16のペレットを収蔵する室14を有する精製装置10通して流通せしめる。その場合、合金を300°Cを超える温度に希ガス乃至不活性ガスの流れ中で10分を超える期間加熱し、150°C未満の、弗素含有気体の認めうる分解を生ぜしめない温度にまで冷却してから接触を実施する。半導体産業でのエッチング用気体の精製に有用。

請求項（抜粋）：

不純な弗素含有気体から不純物気体の除去のための方法であって、(A)Zr-V-Fe合金を300°Cを超える温度に10分を超える時間加熱する段階と、(B)該合金を弗素含有気体の認めうる分解の起こる温度未満の温度まで冷却する段階と、(C)不純な弗素含有気体を該Zr-V-Fe合金と接触する段階とを包含する不純な弗素含有気体から不純物気体を除去するための方法。

IPC (6件)：

B01D 53/02 ,  B01D 53/04 ,  C01B 7/19 ,  C07C 17/38 ,  C07C 19/08 ,  C07B 61/00 300