高さ感知センサを有するエレクトロニクス組立装置

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：田中香樹 (外1名)
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-581414
公開番号（公開出願番号）：特表2002-529722
出願日： 1999年11月05日
公開日（公表日）： 2002年09月10日
要約：

【要約】高さ感知センサを有するエレクトロニクス組立装置を提供する。【解決手段】捕捉・位置決め機(50)および前記画像形成システム(84、106)が開示されている。画像形成システム(84、106)は、捕捉・位置決め機のヘッド(62、87)と共に移動することができ、かつ、部品(96)の近くへ動き、それによってその部品(96)を走査するように適合されたリニア検出器(150)を含んでいる。画像形成システム(84、106)によれば、捕捉・位置決め機(50)によって保持された部品(96)の特徴の高さが表示される。高さは、焦点の合った多数の画像の強度に基づいている。捕捉・位置決め機(50)によって保持された対象物の共面性に加えて、部品(96)上の対象物の特徴の高さを感知する方法も提供されている。

請求項（抜粋）：

光軸に沿って位置する反射性対象物上の特徴の高さを提供するための方法であって、光軸に対して垂直な線状焦点を作るように、光を投射すること、前記線状焦点と前記対象物とを光軸に沿って相対的に移動させること、前記相対移動の前に前記対象物の第1組み立て画像を収集し、かつ、前記線状焦点と前記対象物との相対移動の後に前記対象物の第2組み立て画像を収集することであって、このような収集のそれぞれのステップが、 1)リニア検出器と前記対象物とが走査方向で互いに相対的に移動するにつれて、前記リニア検出器から前記対象物の多数の部分画像を収集するステップと、 2)前記多数の部分画像を前記対象物の組み立て画像に組み立てるステップとを備えていること、および少なくとも1つの特徴の高さを、これら2つの組み立て画像の関数として演算することを含むことを特徴とする方法。

IPC (5件)：

G01B 11/02 , H01L 21/60 301 , H01L 21/60 , H05K 13/04 , H05K 13/08

FI (5件)：

G01B 11/02 H , H01L 21/60 301 G , H01L 21/60 301 L , H05K 13/04 M , H05K 13/08 Q

Fターム (33件)：

2F065AA24 , 2F065CC28 , 2F065DD06 , 2F065FF04 , 2F065FF67 , 2F065GG07 , 2F065GG16 , 2F065HH14 , 2F065HH16 , 2F065HH17 , 2F065JJ25 , 2F065LL04 , 2F065MM03 , 2F065MM22 , 2F065PP15 , 2F065QQ24 , 2F065QQ31 , 2F065UU05 , 5E313AA01 , 5E313AA11 , 5E313CC04 , 5E313EE02 , 5E313EE03 , 5E313FF24 , 5E313FF28 , 5F044AA01 , 5F044BB01 , 5F044BB03 , 5F044DD01 , 5F044DD07 , 5F044DD10 , 5F044DD20 , 5F044JJ01

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