特許

J-GLOBAL ID：200903054370527340

基板保持装置

発明者： 内藤 勝男
出願人/特許権者： 日新電機株式会社
代理人 (1件)： 山本 惠二
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-201332
公開番号（公開出願番号）：特開平10-027566
出願日： 1996年07月10日
公開日（公表日）： 1998年01月27日
要約：

【要約】【課題】 静電チャックを用いた基板保持装置を改良することによって、基板を機械的に走査すると否とに拘わらず、基板の帯電状態を監視することができるようにする。【解決手段】 静電チャック6の二つの電極10、12に直流電圧+V、-Vを供給する正電源14および負電源16に流れる電流I1 およびI2 をそれぞれ計測する電流計測器18および20を設けた。かつ、これらで計測した電流I1 およびI2 の電流差ΔI=I2 -I1 を求める演算回路22を設けた。この電流差ΔIは、基板表面の電位VS に比例している。更にこの例では、この電流差ΔIが基準値E1 よりも大きい場合に警報信号Sを出力する比較回路26を設けた。

請求項（抜粋）：

イオンビームが照射される基板を静電気によって吸着する双極型の静電チャックと、この静電チャックの二つの電極に互いに逆極性で大きさのほぼ等しい直流電圧をそれぞれ供給する正電源および負電源とを備える基板保持装置において、前記正電源および負電源に流れる電流をそれぞれ計測する二つの電流計測器と、この二つの電流計測器でそれぞれ計測した電流の大きさの差を求める演算回路とを備えることを特徴とする基板保持装置。

IPC (3件)：

H01J 37/317 ,  H01L 21/265 ,  H01L 21/68

FI (3件)：

H01J 37/317 B ,  H01L 21/68 R ,  H01L 21/265 E