静電マイクロリレー

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：青山葆 (外3名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-021881
公開番号（公開出願番号）：特開平11-219652
出願日： 1998年02月03日
公開日（公表日）： 1999年08月10日
要約：

【要約】【課題】所望の絶縁特性を確保しつつ、駆動電圧が低く、接触信頼性の高い静電マイクロリレーを提供することにある。【解決手段】ベース10の上面に設けた小キャビティ13の底面に固定接点15,16を配置する。一方、アクチュエータ20の下面に設けた小キャビティ22の天井面に可動接点24を配置する。

請求項（抜粋）：

ベースの上面に固定接点を配置する一方、前記ベースの上方で略平行に対向するアクチュエータを形成する可動接触片の下面に、前記固定接点に接離可能に対向する可動接点を配置するとともに、前記可動接触片および前記ベースの対向面のうち、少なくともいずれか一方に可動電極を形成し、前記ベースおよび可動接触片間に電圧を印加して生じる静電引力で前記可動接触片を駆動し、前記可動接点を前記固定接点に接離する静電マイクロリレーにおいて、前記ベースの上面および前記可動接触片の下面うち、少なくともいずれか一方に設けた凹部の底面に、前記接点を配置したことを特徴とする静電マイクロリレー。

引用特許：

審査官引用 (3件)

静電駆動型リレー
公報種別：公開公報出願番号：特願平5-010607 出願人：松下電工株式会社, ジャッキーレヴィナー, ディディエールペリノ
静電駆動型リレー
公報種別：公開公報出願番号：特願平5-155757 出願人：松下電工株式会社
高周波信号用スイッチを含む移相器
公報種別：公開公報出願番号：特願平7-284005 出願人：テキサスインスツルメンツインコーポレイテツド

前のページに戻る