特許
J-GLOBAL ID:200903054383117656
空気ベアリングスライダ
発明者:
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出願人/特許権者:
代理人 (1件):
梅田 明彦
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平9-103963
公開番号(公開出願番号):特開平10-172256
出願日: 1997年04月08日
公開日(公表日): 1998年06月26日
要約:
【要約】【構成】 空気ベアリングスライダ12の空気ベアリング面10は、該スライダの前端部14に形成されたテーパ20と、基部26及び2つの脚部を有するように形成されたレール18とを備える。一方の脚部22は、基部から後端部16に向けて部分的に延長する。他方の脚部24は、基部から後端部に向けて延長し、かつ矩形をなす部分30と1つ又は複数の多角形状をなす部分32とで一体に形成されている。内側及び外側凹所47、49がレールにより画定されかつ分離されている。【効果】 高度(標高)の影響を実質的に受けずに、概ね一定の浮上高さを維持することができる。
請求項(抜粋):
前端部及び後端部と、前記前端部と後端部間の平行な第1及び第2側部とを有する空気ベアリングスライダであって、前記前端部に形成されたテーパと、前記テーパから前記後端部に向けて延長し、基部と第1及び第2脚部とを有する、概ね数字「7」の形に形成されたレールとを備え、前記第1脚部が前記第2脚部より短く、かつ前記基部から前記後端部に向けて部分的に延長し、前記第2脚部が前記基部から前記後端部に向けて延長し、少なくとも1つの多角形状部分を有するように構成され、前記レールにより画定されかつ分離された内側及び外側凹所を備え、概ね一定の浮上高さを維持することができるように、周囲圧力の変化及び高度の変化に対して実質的にその影響を受けないようにしたことを特徴とする空気ベアリングスライダ。
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