特許

J-GLOBAL ID：200903054385220160

絶縁保護膜切断装置

発明者： 小柳 恵介 ,  横江 武司 ,  千川 康秀
出願人/特許権者： 株式会社ピーエフユー
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-151050
公開番号（公開出願番号）：特開2000-340586
出願日： 1999年05月31日
公開日（公表日）： 2000年12月08日
要約：

【要約】【課題】 CSPの製造ではチップ切断面の絶縁保護膜に剥がれが生じることがあり、チップをキャリアに搭載するとき、この剥がれに導電ペーストが付着し、配線されたパターンを短絡させる障害が発生する。このため作業者は拡大鏡でチップを見て、絶縁保護膜の剥がれを刃物により切断し、製造障害をなくしている。しかし、この作業は極小部品に対する作業であり、非常に作業性が悪いという問題点があった。【解決手段】 拡大鏡部と、チップを保持するチップ保持部と、チップ保持部に置かれたチップの絶縁保護膜の切断線の一端を所定の刃物位置に合わせるためXY位置および角度位置を調整し、かつ切断線方向にチップ保持部をスライドするチップ保持テーブル部と、刃物を保持する刃物保持部と、刃物保持部で保持した刃物の先端をチップ保持部に置かれたチップの絶縁保護膜の切断の高さに調整する刃物保持テーブル部とで絶縁保護膜切断装置を構成する。

請求項（抜粋）：

CSPの製造に使用するチップの絶縁保護膜の剥がれを切断する絶縁保護膜切断装置において、チップを拡大して見る拡大鏡部(1)と、チップの置き位置を規正し、かつチップを固定するチップ保持部(2)と、チップ保持部(2)に置かれたチップの絶縁保護膜の切断線の一端を所定の刃物位置に合わせるためXY位置および角度位置を調整し、かつ切断線方向にチップ保持部(2)をスライドするチップ保持テーブル部(3)と、絶縁保護膜を切断する刃物を保持する刃物保持部(4)と、刃物保持部(4)で保持した刃物の先端をチップ保持部(2)に置かれたチップの絶縁保護膜の切断の高さに調整する刃物保持テーブル部(5)とで構成されることを特徴とする絶縁保護膜切断装置。

Fターム (4件)：

5F061AA01 ,  5F061BA07 ,  5F061CA10 ,  5F061CB13