特許

J-GLOBAL ID：200903054394505402

温調装置及び走査型露光装置

発明者： 神谷 三郎
出願人/特許権者： 株式会社ニコン
代理人 (1件)： 立石 篤司 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-267824
公開番号（公開出願番号）：特開平9-092613
出願日： 1995年09月21日
公開日（公表日）： 1997年04月04日
要約：

【要約】【課題】 パーティクルの付着問題が殆ど生じることなく、周辺の空気の温度変化や揺らぎを防止しつつ、基板の温度制御を効果的に行なう。【解決手段】 基板Rに対向配置され,配管24内を流れる冷媒(又は熱媒)により温度制御可能な輻射プレート23と、輻射プレート23に真空層22を介して対向配置された赤外線透過窓21と、輻射プレート23と窓21とを一体的に支持するとともに当該両者23、21間及び真空層22を断熱する断熱支持体25とを有する。これによれば、輻射プレート23との間の輻射伝熱により基板Rの温度が調整されるので、パーティクルの付着問題が殆ど生じることなく、周辺の空気の温度変化や揺らぎを防止しつつ、完全なる非接触にて基板Rの温度制御を効果的に行なうことができる。

請求項（抜粋）：

基板の温度を調整する温調装置であって、前記基板に対向配置可能で温度制御可能な輻射プレートと;前記輻射プレートに所定の真空層を介して対向配置された赤外線透過窓と;前記輻射プレートと前記窓とを一体的に支持するとともに当該両者間及び前記真空層を断熱する断熱支持体とを有する温調装置。

IPC (2件)：

H01L 21/027 ,  G03F 7/20 521

FI (3件)：

H01L 21/30 516 E ,  G03F 7/20 521 ,  H01L 21/30 518