特許

J-GLOBAL ID：200903054394782384

光学部材及びその製造方法

発明者： 坂本 淳一 ,  小佐野 永人 ,  鈴木 博幸 ,  岩田 研逸
出願人/特許権者： キヤノン株式会社
代理人 (1件)： 渡辺 敬介 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-158212
公開番号（公開出願番号）：特開平11-006050
出願日： 1997年06月16日
公開日（公表日）： 1999年01月12日
要約：

【要約】【課題】 透明基板上に微細で且つ複雑なパターン形状を有する光学薄膜を安価に形成する。【解決手段】 透明基板1上に、インクジェット法によりレジスト材で所定のパターンを描画してレジスト2を形成し、基板全面に光学薄膜3を成膜し、レジスト2をその上の光学薄膜ごと除去することにより、所定のパターン形状の光学薄膜3を透明基板1上に残す。

請求項（抜粋）：

透明基板上に光学薄膜パターンを有する光学部材の製造方法であって、透明基板上にインクジェット法によりレジスト材を付与してレジストを形成する工程と、透明基板全面に光学薄膜を形成する工程と、上記レジストをその上の光学薄膜ごと除去して透明基板上に所定のパターン形状の光学薄膜を残す工程と、を有することを特徴とする光学部材の製造方法。

IPC (4件)：

C23C 14/04 ,  C23C 16/04 ,  G02B 1/10 ,  G02B 5/08

FI (4件)：

C23C 14/04 B ,  C23C 16/04 ,  G02B 5/08 Z ,  G02B 1/10 Z