特許

J-GLOBAL ID：200903054395458661

成膜装置

発明者： 中田 勉 ,  荒木 裕二 ,  鈴木 秀直 ,  堀江 邦明
出願人/特許権者： 株式会社荏原製作所
代理人 (1件)： 渡邉 勇 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-124135
公開番号（公開出願番号）：特開平11-302849
出願日： 1998年04月17日
公開日（公表日）： 1999年11月02日
要約：

【要約】【課題】 成膜開始時の主ラインへの原料ガスの切換の際のバイパスラインからのパーティクルの侵入を防止し、また、成膜初期の成膜室内の不安定なガス流れを排除して、反応の初期から安定した成膜反応条件を形成することができる成膜装置を提供する。【解決手段】 原料ガスを生成する気化室10と、該原料ガスを用いて成膜を行なう成膜室18と、該成膜室を排気する真空ポンプ22と、気化室、成膜室及び真空ポンプを連絡する主ライン14と、気化室を成膜室を迂回して真空ポンプに連絡するバイパスライン16と、主ライン及びバイパスラインにそれぞれ設けられて気化室を主ライン又はバイパスラインに選択的に切り換える開閉弁とを有する成膜装置において、主ラインへ原料ガスを供給する時に主ラインの主開閉弁V1の前後の圧力が所定の切換条件を充足するようにする圧力調整手段が設けられている。

請求項（抜粋）：

原料ガスを生成する気化室と、該原料ガスを用いて成膜を行なう成膜室と、該成膜室を排気する真空ポンプと、前記気化室、成膜室及び真空ポンプを連絡する主ラインと、前記気化室を前記成膜室を迂回して真空ポンプに連絡するバイパスラインと、前記主ライン及び前記バイパスラインにそれぞれ設けられて前記気化室を主ライン又はバイパスラインに選択的に切り換える開閉弁とを有する成膜装置において、前記主ラインへ原料ガスを供給する時に前記主ラインの主開閉弁の前後の圧力が所定の切換条件を充足するようにする圧力調整手段が設けられていることを特徴とする成膜装置。

IPC (3件)：

C23C 16/44 ,  H01L 21/205 ,  H01L 21/31

FI (3件)：

C23C 16/44 D ,  H01L 21/205 ,  H01L 21/31 B