特許
J-GLOBAL ID：200903054399774312
干渉縞の評価装置及びそれを用いた回折干渉光学系の検査方法
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
高梨 幸雄
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-149538
公開番号（公開出願番号）：特開平8-320205
出願日： 1995年05月24日
公開日（公表日）： 1996年12月03日
要約：
【要約】【目的】 回折干渉光学系の高精度且つ能率的な組み立て調整に役立つ、干渉光の干渉縞のコントラスト、ビジビリテイ、単位長さあたり干渉縞本数等の定量的評価を可能とする干渉縞の評価装置及びそれを用いた回折干渉光学系の検査方法を得ること。【構成】 干渉光の断面内の所定距離だけ離れた少なくとも2点に形成される干渉縞の光強度情報の時間的変化を検出する受光手段と、該受光手段からの信号により該2点における干渉縞の位相差を求め該干渉縞を定量的に評価する演算手段とを有していること。
請求項（抜粋）：
干渉光の断面内の所定距離だけ離れた少なくとも2点に形成される干渉縞の光強度情報の時間的変化を検出する受光手段と、該受光手段からの信号により該2点における干渉縞の位相差を求め該干渉縞を定量的に評価する演算手段とを有していることを特徴とする干渉縞の評価装置。
IPC (2件)：
FI (2件)：
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