特許

J-GLOBAL ID：200903054399954990

半導体装置

発明者： 佐藤 浩哉
出願人/特許権者： シャープ株式会社
代理人 (1件)： 山本 秀策
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-068833
公開番号（公開出願番号）：特開平9-260502
出願日： 1996年03月25日
公開日（公表日）： 1997年10月03日
要約：

【要約】【課題】⊃マイクロ波/ミリ波帯での電力増幅用として実用に供することのできる、縦型構造トランジスタ集合体による高出力かつ高性能な半導体装置を提供する。【解決手段】 HBT2は、複数の縦型構造トランジスタ3がアレイ状に配設され、並列接続されている。フィンガー状のトランジスタ素子真性動作部の長手方向を、トランジスタアレイの入力側と出力側とを結んだ線と平行にして各縦型構造トランジスタ3が配置されている。配線は、行方向において、3個×8個のトランジスタ素子真性動作部毎に分割する入力用幹配線4および出力用幹配線5を有する。入力用幹配線4からは行方向に延びる入力用枝配線8が分岐され、出力用幹配線5からは行方向に延びる出力用枝配線9が分岐されている。入力用枝配線8は出力用枝配線9の間に入り込んでいる。

請求項（抜粋）：

縦型構造トランジスタがアレイ状に配設されると共に並列接続された半導体装置において、該縦型構造トランジスタが、そのフィンガー状のトランジスタ素子真性動作部の長手方向をトランジスタアレイにおける列方向と平行になし、かつ、列方向のトランジスタ間隔を中央部から離れるに伴って小さくして配置されており、列方向に延びる交互に配列された入力用幹配線および出力用幹配線と、該入力用幹配線から行方向に延びる入力用枝配線と、該出力用幹配線から該入力用枝配線の間に行方向に延びる出力用枝配線とを備える配線に対し、トランジスタアレイが、その行方向において複数個の縦型構造トランジスタ毎に入力用幹配線および出力用幹配線によって挟まれ、かつ、その挟まれた複数個の縦型構造トランジスタの各々が該入力用枝配線および該出力用枝配線にて挟まれており、更に、該トランジスタアレイの列方向の一方側を入力側となし、かつ、他方側を出力側としてある半導体装置。

IPC (7件)：

H01L 21/8222 ,  H01L 27/082 ,  H01L 21/82 ,  H01L 27/04 ,  H01L 21/822 ,  H01L 21/331 ,  H01L 29/73

FI (5件)：

H01L 27/08 101 B ,  H01L 21/82 W ,  H01L 27/04 A ,  H01L 27/04 D ,  H01L 29/72