特許

J-GLOBAL ID：200903054403741050

塗布装置

発明者： 池口 太蔵
出願人/特許権者： シャープ株式会社
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-027266
公開番号（公開出願番号）：特開平11-221509
出願日： 1998年02月09日
公開日（公表日）： 1999年08月17日
要約：

【要約】【課題】 塗布液の汚染を防止し、微量な塗布液を容易に制御できる塗布装置を提供する。【解決手段】 スライド可能なステージに吸着されるガラス基板4と、ガラス基板4の塗布面5にフォトレジスト11を吐出する昇降可能な塗布ヘッド7とを備え、ガラス基板4を上方に、塗布ヘッド7を下方に配置してガラス基板4の塗布面5を下方に向け、塗布ヘッド7を対向する一対のリップ8、9で構成する。また、一対のリップ8、9の対向面間を上下方向に向くフォトレジスト11用の吐出スリット16とし、一のリップ9の対向面にマニホールド13を形成し、マニホールド13には膨張可能な塗布液吐出チューブ18を内蔵する。フォトレジスト11の吐出を塗布液吐出チューブ18で制御するので、ポンプや配管の影響を受けにくくすることができる。よって、微量のフォトレジスト11の吐出が可能になり、レスポンスの向上が期待できる。

請求項（抜粋）：

被塗布部材と、この被塗布部材の塗布面に塗布液を供給する塗布ヘッドとを備え、上記被塗布部材を上方に、上記塗布ヘッドを下方にそれぞれ配置して該被塗布部材の塗布面を下方に向け、該被塗布部材と該塗布ヘッドの少なくともいずれか一方を移動させる塗布装置であって、上記塗布ヘッドの少なくとも上部に複数の対向部を備え、この複数の対向部の対向面間を上下方向に指向する上記塗布液用の吐出スリットとし、一の対向部の対向面に該塗布液が供給される凹部を形成してこの凹部には該塗布液用の膨張可能な流動制御手段を備えてなることを特徴とする塗布装置。

IPC (6件)：

B05C 5/02 ,  B05D 1/26 ,  B05D 1/40 ,  G02F 1/13 101 ,  G02F 1/1335 505 ,  G03F 7/16

FI (6件)：

B05C 5/02 ,  B05D 1/26 Z ,  B05D 1/40 Z ,  G02F 1/13 101 ,  G02F 1/1335 505 ,  G03F 7/16