電子線装置及びその電子線装置を用いたデバイス製造方法

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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：社本一夫 (外5名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-332941
公開番号（公開出願番号）：特開2003-132829
出願日： 2001年10月30日
公開日（公表日）： 2003年05月09日
要約：

【要約】 (修正有)【課題】高いスループットでかつ高い信頼性をもつ、複数の電子銃から放出された一次電子線を集束して試料面上に照射する電子線装置とする。【解決手段】電子線装置は、一次電子線を走査させて試料面上に照射させる少なくとも一つの電子光学素子21を各電子銃毎に備え、電子光学素子が、一枚の絶縁部材210に上記複数の電子銃の光軸に対応して穴を形成し、絶縁部材を前記穴の回りで複数のスリット213により複数の区域に分割し、絶縁部材の少なくともスリットによって分割された区域に金属のコーティング層212を施すことによって形成され、各区域のコーティング層に別個に電圧を印加可能になっている。

請求項（抜粋）：

複数の電子銃から放出された一次電子線を集束して試料面上に照射する電子線装置において、前記一次電子線を走査させて試料面上に照射させる少なくとも一つの電子光学素子を各電子銃毎に備え、前記電子光学素子が、一枚の絶縁部材に上記複数の電子銃の光軸に対応して穴を形成し、前記絶縁部材を前記穴の回りで複数のスリットにより複数の区域に分割し、前記絶縁部材の少なくとも前記スリットによって分割された区域に金属のコーティング層を施すことによって形成され、各区域のコーティング層に別個に電圧を印加可能になっていることを特徴とする電子線装置。

IPC (12件)：

H01J 37/147 , G01N 23/225 , G01R 1/06 , G01R 31/02 , G01R 31/302 , G21K 1/087 , G21K 5/04 , H01J 37/05 , H01J 37/06 , H01J 37/12 , H01J 37/28 , H01L 21/66

FI (14件)：

H01J 37/147 B , G01N 23/225 , G01R 1/06 F , G01R 31/02 , G21K 1/087 F , G21K 1/087 S , G21K 5/04 M , G21K 5/04 W , H01J 37/05 , H01J 37/06 A , H01J 37/12 , H01J 37/28 B , H01L 21/66 J , G01R 31/28 L

Fターム (43件)：

2G001AA03 , 2G001AA10 , 2G001BA15 , 2G001CA03 , 2G001GA01 , 2G001GA06 , 2G001HA09 , 2G001HA13 , 2G001JA02 , 2G001LA11 , 2G001MA05 , 2G011AA01 , 2G011AE03 , 2G014AA02 , 2G014AA03 , 2G014AA08 , 2G014AB59 , 2G014AC11 , 2G132AA00 , 2G132AD15 , 2G132AF13 , 2G132AL00 , 2G132AL11 , 4M106AA01 , 4M106BA02 , 4M106CA08 , 4M106CA39 , 4M106CA41 , 4M106DB14 , 5C030BB02 , 5C030BB05 , 5C030BB06 , 5C033AA02 , 5C033AA05 , 5C033CC01 , 5C033FF01 , 5C033NN01 , 5C033NP01 , 5C033NP05 , 5C033NP06 , 5C033UU01 , 5C033UU02 , 5C033UU04

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